在線粒子計數器是半導體、制藥、生物安全及制造領域實現潔凈室環境或工藝流體中顆粒物實時監控的關鍵設備,可連續檢測0.1–10μm范圍內懸浮粒子的濃度與粒徑分布,滿足ISO14644、GMP等嚴苛標準。
在線粒子計數器高可靠性依賴于光學、流體、電子與軟件系統的精密集成,每一核心部件均體現光準、流穩、數真、聯智的現代潔凈監測理念。

一、高靈敏度光學傳感系統
激光二極管光源(650nm或405nm):
光束經準直后照射采樣氣流,確保微小粒子產生可測散射信號;
聚焦光敏探測器:
高信噪比捕捉單顆粒散射光脈沖,分辨率達0.1μm;
鞘流技術(部分液用型號):
樣品流被潔凈鞘液包裹,防止粒子沉積在光學窗口,保障長期穩定性。
二、精密采樣與流量控制模塊
恒流采樣泵(28.3L/min或1.0CFM標準流量):
內置閉環反饋控制,流量波動≤±5%,確保數據可比性;
等速采樣探頭:
在風管中保持與主流速度一致,避免大顆粒因慣性損失;
自清潔反吹閥(可選):
定期清除進氣口積塵,適用于高粉塵邊緣環境。
三、智能數據處理與通信單元
多通道脈沖高度分析器:
將散射光強度轉換為粒徑檔位(如≥0.3、0.5、1.0、5.0μm),支持6通道同步計數;
嵌入式處理器+實時操作系統:
每秒處理數千顆粒事件,計算每立方米粒子濃度;
工業級通信接口:
支持ModbusTCP、BACnet、4–20mA或以太網,無縫接入樓宇自控(BAS)、SCADA或環境監測系統(EMS)。
四、結構與防護設計
316L不銹鋼或陽極氧化鋁外殼:
IP65防護等級,耐受CIP/SIP清洗及潔凈室消毒劑腐蝕;
無菌快接接口(液用型):
符合ASMEBPE標準,避免死角滋生微生物;
狀態自診斷功能:
實時監測激光功率、流量異常、傳感器污染,提前預警維護需求。